来源：合肥日报

日前从安徽省量子计算工程研究中心获悉，国内首个专用于量子芯片生产的MLLAS-100激光退火仪（简称“激光退火仪”）已研制成功，可解决量子芯片位数增加时的工艺不稳定因素，像“手术刀”一样精准剔除量子芯片中的“瑕疵”，增强量子芯片在向多比特扩展时的性能，从而进一步提升量子芯片的良品率。

据了解，该激光退火仪由合肥本源量子计算科技有限责任公司完全自主研发，可达到百纳米级超高定位精度，对量子芯片中单个量子比特进行局域激光退火，从而定向控制修饰量子比特的频率参数，解决多比特扩展中比特频率拥挤的问题，助力量子芯片向多位数扩展。

“我们在量子芯片生产过程中，通过量子芯片的‘火眼金睛’无损探针仪发现量子芯片的优劣，对于其中的‘坏品’‘次品’，采用激光退火仪处理存在的问题。就像医生做手术一样，这把‘手术刀’能够‘对症下药’，改善其中‘不良’部分，从而提高量子芯片的品质。”安徽省量子计算工程研究中心副主任贾志龙博士说，之前发布的量子芯片无损探针仪和这台量子芯片激光退火仪都属于量子芯片工业母机，前者发现问题，后者解决问题。它们相互配合，才能生产出更高质量的量子芯片。

据中国科学技术大学教授郭国平介绍，量子计算机是具有重要战略价值的国之重器。代表量子计算机能力水平的一个重要参数是它的量子比特位数，量子比特位数越高，其计算能力越强。

“为了解决更高位数量子计算机中的多比特量子芯片生产问题，我们自主研发了该设备。”贾志龙表示，这台激光退火仪拥有正向和负向两种激光退火方式，可以在生产过程中灵活调节多比特超导量子芯片中量子比特的关键参数。同时，该设备还可用于半导体集成电路芯片、材料表面局域改性处理等领域，目前已在国内第一条量子芯片生产线上投入使用。

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